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薄膜电感概述

来源:    作者:     发布时间:2013-02-26 09:50:52     点击数:

(2)折线形薄膜电感‘57,s8l:折线形薄膜电感是几种薄膜电感绕线中,构造最简单的一种,因而也是最早研究的一种绕线形式,其示意图如图4.2;

虽然其制作简单,但是由于导线拐角增多,电子在拐角处受到的散射增强,使得电阻增大,Q值减小,并且各匝之间的耦合不太紧密,使互感减小,导致单位长度的电感量不大,因而要获得较大的电感量就需要增加导线的匝数。虽然况这种形式存在一定的不足,但是随着频率的升高,应用于DC/DC微变换器、无线收发机前端电感的电感量大概在几十nH~几百nH之问,因而采用这种形式也完全能满足应用的要求。

(3)螺旋线圈型薄膜电感:螺旋线圈型薄膜电感是最常见的一种薄膜电感,是目前国外各研究机构制作的薄膜电感的主要绕线形式,它包括矩形螺旋形,圆形螺旋形、六边形。其绕线采用掩膜或光刻,易于实现,结构如图4-3:

螺旋绕线型线圈绕制紧密,电感除来自于自身线圈产生的自感外,更大一部分来自各匝之间的互感,并且绕制越紧密互感量越大;另外,采用这种螺旋式的密绕方式,可以有效地节约使用面积,提高基片的使用率,利于器件的小型化,当然密绕的程度受限于光刻、掩膜制作的限度。由于可以精确地控制线间距,因而可重复性高。

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