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电感耦合式等离子清洗系统及其在微波管制造中的应用

来源:    作者:     发布时间:2013-05-08 16:04:55     点击数:

真空室采用石英玻璃钟罩,钟罩形状为顶圆弧下翻边,与真空系统法兰通过氟橡胶圈密封。石英钟罩具有易加工、易清洗、耐高温等优点,在等离子清洗过程中,透过石英钟罩,可以观察等离子体的强度和颜色,并可观察工件清洗效果,方便操作。

真空泵包括一套分子泵机组和一台独立的机械泵,其中分子泵机组用于获得较高的本底真空,较高的本底真空保证了真空室内气体的纯净性,尤其是对于一些易氧化的材料可获得更好的清洗效果;另一台机械泵用于将清洗过程中产生的废气抽走,形成动态平衡,保持等离子体的纯度,避免二次污染。两套机组独立运行可以保证系统连续工作,当连续清洗时,分子泵可处于持续工作状态,缩短了启停时间,提高清洗效率。

充气系统由截止阀和质量流量控制器组成,充气管路可根据工艺要求设计,分别接不同的气体,根据不同的被清洗材料可以选择02,H。,Arz等。清洗过程中,要保持真空室内一定的真空度,并且要动态平衡稳定,这样产生的等离子体才能稳定÷并且气体不断置换,可使反应时产生的废气及时排出,避免污染。

射频电源是产生等离子体的激励源,要求有自动匹配功能,根据被清洗零件的大小和材料,选择不同的功率和频率,要有输出功率、反射功率指示,并且连续可调。自动匹配器是进口射频电源的一大优势,目前国内的射频电源在自动匹配方面尚欠缺,大都需要手动调节匹配,因此条件允许的话尽量选用进口射频电源。

控制系统实现全工艺过程的自动控制,实现自动预抽、自动充气、自动平衡产生等离子体、清洗等步骤。

清洗过程如下:首先将待清洗零件悬挂在支架上,并将耦合线圈升降到零件所在的位置,最好处于线圈的中心,启动分子泵机组对真空室预抽,当本底真空度满足清洗要求后,开始对系统充气并动态抽气实现平衡,控制真空室压强在10"--i000Pa之间,启动射频电源,经自动匹配后,产生稳定的等离子体,零件浸没在等离子体中依靠等离子体的理化作用清洗。1

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