电感测微仪的应用

高精度微小锥面的测量是个较难的技术问题，电感测微仪的分辨率较高，精度可达0．0001mm，如果加上测鼍台架及专用测头，则可以在现场解决一些小锥面的测量难题。经验证准确度高、重复性好，与用英国泰勒圆柱度仪加改装的测量头来测量零件的跳动相比，用电感测微仪测量的精度更高，时间更短，投入资金更少。

一、电感测微仪电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，由主体和测头两部分组成，配上如测量台架和专用测头，能够完成各种精密测量。如榆查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等，被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。

电感测微仪的硬件电路主要包括电感式传感器、正弦波振荡器、放大器、相敏检波器及单片机系统。正弦波振荡器为电感式传感器和相敏检波器提供了频率和幅值稳定的激励电压，正弦波振荡器输出的信号加到测量头中由线圈和电位器组成的电感桥路上。工件的微小位移经电感式传感器的测头带动两线圈内衔铁移动，使两线圈内的电感量发生相对变化。当衔铁处于两线圈的中间位置时，两线圈的电感量相等，电桥平衡。当测头带动衔铁上下移动时，若E线圈的电感量增加，下线圈的电感量则减少；若上线圈的电感量减少，下线圈的电感量则增加。交流阻抗相应变化，电桥失去平衡，输出一个幅值与位移成正比、频率与振荡器频率相同、相位与位移方向相对应的调制信号。此信号经放大，由相敏榆波器鉴出极性，得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号，经A／D转换器输入到单片机，经过数据处理进行显示。

二、被测零件结构分析被测零件图见图1。该零件结构简单，内孔及小锥面精度高，内孔圆度及直线度的测量可以在英国泰勒圆度仪上进行，但图l中900倒角，由于要起密封作用，跳动控制极严格，锥面相对内孔的跳动要求只有0．002mm。同时，其锥面特别短。水平方向锥面最长只有O．2mm，一般的精密测量仪器及通用量仪其测量头都大于lmm，无法用来测量如此短的锥面，而且针对跳动来开发的专用测量仪器很少，大部分是在其他功能之外附带有测量跳动的功能，因此这样短而精度要求高的锥面测量是个难题。1

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